免費谘詢熱線

0769-22479513

技術文章

TECHNICAL ARTICLES

當前位置:首頁技術文章氣態化學汙染物危害性以及解決(jue) 方案

氣態化學汙染物危害性以及解決方案

更新時間:2025-08-05點擊次數:132
  氣態化學汙染物危害性以及解決方案
 
  1、半導體行業0.25微米生產工藝中氣態化學汙染物的濃度必須控製<5ppt,如果氣態汙染物濃度>5ppt導致半導體層間結合失效;導致HEPA過濾器降解,比如濾料釋放出硼;導致兩道製程之間的結合界麵高電阻;導致晶元或者光學透鏡表麵沉積霧狀。

  2、依據行業環境控製流程可以在新風係統、空氣循環係統、末端FFU或者局部自動化設備上的EFU配置化學過濾器。

  3、優佳的氣態汙染物解決方案可以起到如下作用:
 
          延長維護周期;增強產品的可靠性和壽命;強化製程控製、增強產品優良率;提高電子和機械的性能;優化生產控製。


 

掃碼加微信

服務熱線

0769-22479513

廣東(dong) 省莞城區東(dong) 城西路181號/北京市通州區宋莊鎮小堡北街華強辦公樓B座511

1622018819@qq.com

Copyright © 2025米兰官方手机app网站 All Rights Reserved    備案號:

技術支持:        sitemap.xml